超精密零件加工技术控制探讨

冯洪华，曾增权，郑启贵

（珠海格力精密模具有限公司，广东珠海 519070）

1 引言

超精密加工体现了工业的实力，对于工业加工精度和稳定性的研究一直是世界加工领域的难题。在这个问题上，现阶段的加工控制方式已经取得了一定的进展，但是在影响因素和评价方法上，依然有很多应用需要改进和完善[1]。

2 测试环境温度对机床加工精度的影响

测试环境温度对机床加工精度的影响，在同一时间内，从复测试定位精度，如图1所示。

（1）现象分析：要实现精度要在±0.005mm的加工精度，加工环境必需控制在恒温22℃。

图1 定位精度测试

（2）解决方法：作以下操作，消除冷机与热机时的精度误差，如图2所示。

注意事项：①坐标的建立在工作台中间；②根据机床行程进行更改XY的范围。

图2 消除冷热机时精度误差

3 测试主轴加工发热后，加工精度的变化

经测试，主轴在停机启动后预热10s对刀后进行加工，与预热180s后进行对刀进行加工，分别要同一平面上进行加工，检测出预热180s后进行对刀加工的，两台阶相差0.005mm 左右。当预热180s 后，再曾加预热250s，加工出来的结果不变，在0.001mm的范围内。

现象分析：精加工前先预热主轴，确保加工过程中不会因主轴因温度变化，而导致到加工过程中Z方向的精度发生变化。

解决方法：采取图3所示的方法进行补正。

图3 补正方法

注意：后处理出来的NC 程式默认为10s，所以编程员需要在NC程式中手动更改。

4 消除过数误差

用探头分中过数后，在四周加工基准，分别检测各台阶的值，检测实际加工与过数的误差。……