热反射玻璃与LOW-E玻璃的工艺分析及节能原理

巫中艺，王思霖，唐无忌，杨 翠，赵 伟

（四川大学锦城学院 四川 成都 611731）

1 引言

镀膜玻璃又叫反射玻璃，指在浮法玻璃的表面镀上一层或多层的金属、合金或金属化合物薄膜，让其对太阳辐射的光谱（如：可见光、红外光、紫外线等）进行有选择性的反射和吸收，从而达到采光、隔热的节能效果。节能镀膜玻璃分为热反射玻璃和LOW-E玻璃。热反射玻璃是对太阳具有反射作用，LOW-E玻璃是低辐射镀膜玻璃，在浮法玻璃上镀有金属银，故可反射红外线，降低玻璃表面辐射率。

2 热反射玻璃和LOW-E玻璃的真空磁控溅射工艺

热反射玻璃又称阳光控制镀膜玻璃，采用的金属原料有铁、锡、钛或不锈钢等金属，也可采用化合物。热反射玻璃和LOW-E玻璃都可采用真空磁控溅射工艺，其原理是将欲沉积的材料制成靶材（阴极），靶材接高压，将无可见杂质透明的玻璃放入真空且充入惰性气体的真空室中，置于与阴极间隔一定距离且正对靶面的阳极上。惰性气体通常为Ar（氩气是一种惰性气体，在空气中含量最多，具有低传热率，因此可降低玻璃的传热系数，降低玻璃导热，从而保护玻璃膜层）在阴极和阳极间加上高压，两级间产生辉光放电，产生等离子体，电子在电场的作用下，飞向玻璃基片时与氩原子产生了碰撞，碰撞电离出了新的电子，随着碰撞次数增加，在电磁场作用下，新的电子逐渐远离靶表面，飞向玻璃基片后沉积在上面。电离出的氩离子加速飞向靶材，并以高能量轰击靶面，产生溅射，其中靶原子或分子也沉积在玻璃基片上，形成了薄膜，这是物理气相沉积现象。……