电子级氢氟酸制备关键技术分析

张小霞

（多氟多化工股份有限公司，河南 焦作 454001）

0 引言

电子级氢氟酸，又名高纯度氢氟酸，属于半导体用湿电子化学品中通用的湿化学品一类，其应用于半导体、液晶显示器（LCD）面板和太阳能光伏三大领域［1］。

当今国内高端半导体制备所需的氢氟酸国产率约为30%、硝酸国产率约为50%、盐酸国产率约为20%、硫酸国产率约为10%、氨水国产率约为40%、过氧化氢国产率约为70%，我国半导体用高品质湿电子化学品的制备技术远落后于国外垄断企业。工业和信息化部调研统计结果表明，32%的关键材料在我国仍为空白，52%依赖进口，电子级氢氟酸位列其中；同时，近两年日本对韩国采取出口管制的3种产品就包括高纯度氟化氢。未来的5G之争、互联网争夺战以及科技“暗战”等都包括半导体用湿电子化学品电子级氢氟酸的技术竞争。2020年，多氟多化工股份有限公司抓住日韩贸易战机会，电子级氢氟酸稳定批量出口韩国，进入韩国两大半导体公司的供应链中，被最终应用在3D非易失性闪存存储器（3D-NAND）和动态随机存取存储器（DRAM）的工艺制备中，使得国内电子级氢氟酸产品打开国门走向世界［2］。但如何突破我国半导体用电子级氢氟酸高品质制备的关键技术是当前电子化学品企业以及半导体应用企业亟待研究的重点问题。

1 全球湿电子化学品市场格局

“十三五”期间，全球湿电子化学品市场份额（以销售额计）中，欧美企业占35%，日本企业占28%，中国企业占19%（中国大陆企业占9%，中国台湾企业占10%），韩国企业占16%，其他地区企业约占2%［3］。……