真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响*

曾志锋，阮 毅，谢泽兵

（广东省机械研究所有限公司，广州 510635）

0 引言

真空溅射镀膜由于具有镀膜厚度精确可控、镀膜颜色可控、镀膜附着强度高和镀膜生产过程环保等特点，越来越广泛地应用于五金件、塑料件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品的镀膜生产中。在镀膜生产过程中对一个镀件质量好坏的衡量，除了镀膜厚度和镀膜附着强度外，镀件的色差也是其中一个极为重要的指标，其不仅影响到镀件的外观和质量，也是衡量一台真空镀膜机质量好坏的一个重要的技术指标[1]。在一台真空镀膜机镀膜生产过程中，镀件基材本身质量统一且符合标准的前提下，膜层不均匀是镀膜色差产生的根本原因。膜层不均匀主要包括膜层厚度不均匀和膜层材质成分不均匀，影响膜层均匀性的主要因素：阴极的磁场分布、工作气体分布、靶材表面温度、靶材材质、基材表面温度、磁控溅射放电的稳定性和阴阳极间距。其中，工作气体分布是在生产过程中最容易被忽略的一个因素，本文重点研究在镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响，为提高镀件的质量提供参考。

1 真空溅射镀膜原理

真空溅射镀膜过程是将待镀工件置于真空室体中，并充入适当的工作气体，在阴极上施加负电压，当真空室体内达到适当的环境进行辉光放电，带正电的气体原子强烈撞击到带负电的靶材表面上，使得靶材原子从其表面迸射出来并沉积在镀件上，从而形成了一层膜层[2]。……