纯铜研磨表面残余应力在液动压悬浮抛光中的松弛规律

姜 涛， 谢 重,2， 应一帜

(1.台州职业技术学院 机电工程学院， 浙江 台州 318000；2.浙江工业大学 机械工程学院， 浙江 杭州 310014)

基于现有技术制备出的纳米薄膜在微电路、光学系统和生物学等领域得到了广泛的应用，具有良好的电磁、光学和力学等特性。纳米薄膜的制备要以原子级超光滑表面作为生长表面，且该生长表面的表面质量对薄膜的制备起着决定性的作用，特别是生长表面上的残余应力的分布对薄膜的生长质量影响非常大。所以，如何改善超光滑纳米薄膜生长表面的残余应力的分布状态具有重要意义[1-2]。

液动压悬浮抛光是一种非接触式的超精密抛光方法，不仅能有效改善铜质工件表面粗糙度和位错形态，而且抛光过程中对工件表层残余应力的改善有着积极作用。国内外很多学者采用不同的工艺研究了不同金属材料表面残余应力的松弛规律，其中，胡永会等[3-4]对7075高强铝合金进行喷砂强化，采用XRD研究喷砂表面在循环载荷作用下残余应力的松弛规律。王建明等[5]研究了7075铝合金在疲劳载荷循环次数、应力比、初始残余应力场等因素下对喷丸表面残余应力的松弛规律。高玉魁[6]采用XRD研究了超高强度钢在旋转弯曲疲劳过程中喷丸表面残余应力的松弛规律。Mauduit等[7]对TRIP780高强度钢进行喷丸强化，采用XRD研究循环载荷下喷丸表面残余应力的松弛规律。ISA等[8]对A516 Gr70钢进行喷丸强化，采用XRD研究循环载荷下喷丸表面残余应力的松弛规律，发现随着喷丸强化的载荷增大，循环载荷下的应力松弛效果更好。……