针对大尺寸液晶面板的一些技术改善

黄小昆 袁玉祥

（南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，江苏南京 210033）

彩色滤光片的主要工艺流程是解包、BM、R、G、B、镀膜、研磨、最终检查、捆包、出货（图1）。在上述主工艺流程当中，在每条线体都设置有手动、自动宏观检查机，异物检查机，自动光学检查机等，扫描经过的玻璃基板，如果有不符合要求的玻璃基板，就通过装载输送系统进入修补线体，经过修补之后再进入主工艺流程继续向产线下游运动。检查玻璃基板的规则如何制定，修补后的玻璃基板如何再次进入主工艺流程，这都需要联合所有设备确定生产节拍。由于玻璃基板只有零点几毫米的厚度，在装载输送的过程中极易破碎，破碎一片就会造成上千元的损失，如何减少破片率，能够为公司挽回一大笔损失。下面介绍如何通过修改一款产品的设备参数和逻辑程序进行改善。（图1）

图1

1 曝光工艺的改善

针对在制作645 产品时，由于是12shot 产品，曝光机生产的Tact Time 过长的问题，增加曝光机Gap Skip 功能和启用Local Alignment 模式。

1.1 曝光机增加Gap Skip 功能和启用Local Alignment 模式

我公司使用的曝光机采用Step 曝光模式，即在完成第一个shot 曝光后，移动到下个区域再进行曝光。增加的Gap Skip 功能为对涂布后的基板进行曝光时，只有最开始的三枚基板会在曝光前量测基板与掩膜板之间的Gap，之后的基板不会再量测Gap。

启用Local Alignment 功能后，先对掩膜板预对位单元进行校正，防止掩膜板相对于基准位置有所偏移，并提高了曝光时的精度，在曝光时，所有shot 的对位次数都变为1 次，原本因为对位精度差而导致对位次数增加影响工作时间也有所改善。……