学院仪器共享平台场发射扫描电镜的开放与管理实践

黄艳萍

四川大学化学工程学院工程实验教学中心（四川成都 610064）

扫描电子显微镜（以下简称“扫描电镜”）是一种用于高分辨率微区形貌分析的高端大型精密仪器，具有分辨率高、成像直观、景深大、立体感强等优点，在材料、医学和化学等领域具有广泛的应用[1]。四川大学化学工程学院（以下简称“我院”）科研方向有电池能源材料、膜材料、催化剂和纳米尺度化学传感器等，对扫描电镜有很大测试需求[2-4]。为了提升和扩展在能源材料等领域的硬件水平和研究深度，提高在研究领域的科研竞争力和影响力，我院于2016年引进了一台日本电子JSM-7610热场发射扫描电镜，目前由工程实验教学中心进行管理。JSM-7610是一款半浸没式高分辨场发射扫描电镜，具有低真空模式。后期配备了等离子清洗机、透射电子检测器和样品台导航系统等附件。其价值244万元，最高加速电压30 kv，点分辨率最高1 nm，可实现微区形貌分析、微区能谱检测分析和等离子清洗等功能。

热场发射扫描电镜自完成安装调试以来，服务于校内外广大师生的科研需求，参与多项课题的研究，取得了一些成果。如何将扫描电镜这种大型精密仪器管好、用好，更好地服务于教学科研，加大开放共享使用力度，是仪器管理人员需要探索和思考的问题[5]。根据我院扫描电镜在近5年的使用情况，就场发射扫描电镜的开放和管理进行总结和探讨。

1 学院扫描电镜实验室现状

我院场发射扫描电镜放置于江安校区。……