申请(专利)号:CN202211093253.9
公开(公告)日:2022-10-11
申请(专权)人:拓荆科技(上海)有限公司
摘要:本发明涉及一种阀门,以及一种气相沉积设备。所述阀门安装于反应腔体的上盖板的上表面,并包括进气口、第一出气口及第二出气口。所述进气口经由进气管道连接气源。所述第一出气口经由第一出气管道连接排气通道。所述第二出气口经由所述上盖板连通到其下方的气相沉积反应腔体。通过采用该结构,所述阀门能够快速切换反应气体的流向,以满足高精度控制薄膜厚度的实时性需求和稳定性需求。
低温与特气2022年5期
1《工程建设与设计》2024年6期
2《安徽建筑》2024年1期
3《人生与伴侣·共同关注》2024年2期
4《天津教育》2024年3期
5《现代经济信息》2024年5期
6《世界热带农业信息》2024年3期
7《家庭医学》2024年2期
8《学周刊》2024年10期
9《中国中医药现代远程教育》2024年8期
10《国际护理学杂志》2024年6期