DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计

赵雪峰

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西 太原 030024)

多晶硅铸锭炉作为光伏电池生产过程中的重要设备，为太阳能电池生产提供着稳定、大量、廉价的多晶硅硅锭。随着生产成本的激烈竞争，生产效率的要求进一步提高，对硅锭的尺寸要求也越来越大，硅锭的质量随之急剧增加。随着硅锭的增大，成品硅锭的出片尺寸变得更大，出片率得到了提高，有效利用率明显增加。因此，研制开发更大尺寸的多晶硅铸锭炉，对光伏电池的生产成本有着明显降低，对光伏产业的发展起着重要的增速作用。

1 多晶硅铸锭炉的开发分析

1.1 基础分析

DDL-240 多晶硅铸锭炉为我所自行设计制造的第一代铸锭炉，该型铸锭炉设计成熟，并作了大量的试验，性能稳定，运行良好。但是由于铸锭质量小，铸锭规格尺寸小，已不能满足现在的市场需求。因此，在该设备基础上，进行再次开发设计，研制能满足市场需求，结构简单可靠，能提供更大质量、尺寸的DDL-500型铸锭炉。

DDL-240 多晶硅铸锭炉的主要结构及技术参数：

主要结构：真空圆形双层不锈钢水冷壳体，下部装料，两级真空系统，石墨加热体，硬质石墨保温碳毡，方形隔热笼体

主要技术参数：极限真空度2.67 Pa，加热功率175 kVA，最高温度1 560℃，额定铸锭质量240 kg

生产周期：每炉约50 h

1.2 目标分析

此次设计开发的目标为DDL-500 多晶硅铸锭炉，对该型铸锭炉的设计要求及技术参数：

主要结构：真空圆形双层不锈钢水冷壳体，下部装料，两级真空系统，石墨加热体，硬质石墨保温碳毡，方形隔热笼体。……