陈 兰, 华伟杰, 尤寅峰
(江苏省纺织研究所股份有限公司,江苏 无锡 214024)
众所周知静电是两物体摩擦、分离后在各自物体上带的静止电荷,如从带几千伏、几十千伏高电位的物体发生脉冲刷形成放电或火花放电时,则瞬时产生几安培的电流,会形成各种灾害。不同摩擦带电方式产生的电压(见表1)[1]。人体在进行各种活动时,服装上的摩擦电压值己超过了许多静电敏感器件的静电放电损坏阈值(见表2)[1],因此在半导体集成电路生产过程中,由于人体操作产生摩擦而引起静电放电,往往使脆弱的集成电路击穿而损坏。

表1 不同摩擦方式所产生的静电压

表2 静电对部分电子器件的击穿电压
化纤长丝面料由于具有高绝缘性能会加剧电荷积累,而纯棉织物,虽然具有相对较好的导电性,但仅在空气湿度到达50%以上,才能一定程度上减少静电危害,并且棉织物为短纤差评产品,不能在净化室使用。美国在大型通讯机系统的装配当中,检测出有故障的集成电路的1/3为静电放电击穿而损坏。 穿着绝缘鞋的人体假定带了1.5 kV的静电,放电时足以使市场上出售的双极性集成电路和CMOS集成电路全部击穿或产生异常。低摩擦电压防静电面料及制品的研发是电子行业发展的必然要求。
在电子制造环境洁净室中,除了来自于生产过程的粉尘或微尘以外,微污染源80%来源于人体,它包括人体在洁净环境中由于皮肤掉屑和出汗的生理现象,成为一个最大的污染源。……