剥离液回收装置的改进

张立兴

摘 要：为了对剥离液回收装置的工艺做出改进，本文通过对精馏工艺流程进行模拟计算，根据模拟结果对精馏塔进行填料流体力学计算。采用高效高通量规整填料对精馏装置改进。实际结果表明，本改进方法使产品纯度及处理量均得到了显著提高。

关键词：剥离液;N-甲基甲酰胺;二乙二醇单甲醚;塔内件

剥离液是电子工厂重要的化学品之一，在以往的剥离过程中需要耗费大量的剥离液，为了降低生产成本，需要对二次剥离液进行回收再利用，对生产成本进行控制。现今应用在半导体元件、显示器元件等行业的剥离液通常主要为极性混合有机溶剂和有机胺类的组合物。本文所涉及的剥离液的组成为（1）水（3%）、N-甲基甲酰胺（46%）、二乙二醇单甲醚（46%）、PR胶等聚合物（5%）等，详细研究分析如下。

1 工艺设计要求

对以往工艺做出改进的目的在于，提升产品质量及经济效益。本文对精馏工艺的研究是原有工艺的基础上对工艺中的不足进行改进。本文提出的改进方案工艺流程为，将二次剥离液中的轻组分水脱除后，脱除废液中的重组分杂质，得到混合溶剂产品（浓度>99.5%;水含量<0.1%）。

工艺流程如图1。

2 工艺设计方案

对二次剥离液回收装置进行设计时，需要对工艺流程进行模拟计算。由于本工艺所涉及的原料组分均为极性较强物质，最终选择NRTL作为本工艺的热力学方程。

通过对上述精馏工艺流程进行模拟计算，产品纯度及收率均满足改进要求。

工艺流程涉及的塔内件均采用高通量低压降的MH5.0规整填料，通过控制全塔压降降低塔釜的操作温度，有效降低塔釜熱敏有机溶剂的分解及聚合。主……