基于等径外切圆的工业CT系统空间分辨率测试

2021-03-23 15:45:10齐子诚倪培君郭智敏高红俐
光学精密工程 2021年1期
关键词:测量系统

齐子诚,倪培君,姜 伟,郭智敏,高红俐

(1.浙江工业大学机械工程学院,浙江杭州310014;2.中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103)

1 引 言

工业计算机断层成像技术(Industrial Com⁃puterized Tomography,ICT)具有限制条件少、成像直观、分辨率高的优点,广泛应用于航空航天、兵器及汽车等行业的产品内部质量检测[1-3]。目前,国内工业CT系统已成系列,包括微焦点(纳米)工业CT、15MeV大型工业CT系统等,系统的空间分辨率覆盖40 lp/mm(微焦点CT)到0.5 lp/mm(大型加速器CT),密度分辨率最小可达0.1%。空间分辨率作为表征工业CT系统性能的一个重要参数,与缺陷检测能力密切相关。因此,实现工业CT系统空间分辨率的有效测试对CT系统设计、研制、验收和应用等方面有着重要意义。

目前,工业CT系统空间分辨率测试方法按原理[4]可分为周期性结构测试法和调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)测试法。周期性结构测试法[5-6]是在CT图像中直接观察线对、圆(方)孔阵列等周期性结构,利用可识别的最小结构尺寸来确定系统的空间分辨率,具有结果直观、检测效率高等优点,但是测试能力和精度完全依赖于模体中周期性结构的空间频率范围、间隔及加工精度。随着系统空间分辨率的提高,测试模体的加工要求、难度显著提升,影响了该方法的实用性。MTF法具有模体结构简单、加工要求低、检测分辨率高等优点。根据模体形状不同,该方法可分为圆盘法[7-9]和刃边法[10-15],这两种方法均利用模体在CT图像上的边缘灰度信息,利用计算机提取边缘图像灰度分布进行微分运算形成边缘扩散函数(Edge Spread Function,ESF),再经过傅里叶变换计算获得MTF曲线,用于表征工业CT系统的空间分辨率。……

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