薄膜传感器实验教学创新与实践

赵晓辉

科技创新人才逐渐成为经济增长的第一推动力,培养创新型人才也成为当前教育改革的主要任务。利用开放的教学体系以及先进的教学平台开展实验教学,是培养学生实践能力和创新意识的重要手段,可以更好地培养大学生的创新、创业实践能力,在创新人才培养中起着关键的作用[1]。

随着电子器件向小型化、集成化、低功耗发展,微型电子元器件已经广泛应用于电子电力、通信、交通、国防、清洁能源等多个行业领域,其市场需求也呈现出快速增长趋势。因此,以电子薄膜制备技术为主的微电子器件制备引起了如机械、能源、化工、计算机、通信、光电子、物理电子等多个学科学生的浓厚兴趣。针对学生学科背景的差异,在设计电子薄膜实验方案过程中力求工作原理简单直观、器件制备成功率较高、器件性能可靠性好并易于测试和表征。该项研究在薄膜传感器实验教学中通过改进课程设计,并根据学生的选择申请变更或补充,使学生的学习由被动接受变为主动选择[2],提高学生对课程的兴趣,强化学生创新精神和实践能,为建立创新型人才培养体系奠定基础。本文从实验原理、实验内容、数据测试与分析及考核评价方式等方面详细阐述了该实验项目的创新设计。

1 实验原理

实验的目的是让学生理解薄膜温度传感器的工作原理,熟悉电子薄膜制备的基本设备,了解真空的获得和测量技术,掌握蒸发和溅射镀膜技术,熟悉薄膜传感器的图形化工艺,掌握薄膜温度传感器性能表征及可靠性分析的方法,了解薄膜制备技术和图形化工艺对器件性能的影响因素。……