蓝宝石衬底检验与自动化技术的应用研究

吴丽琼 周志豪 刘建飞 戴坤森 李鹏 陈辉煌

摘要：Ⅲ-Ⅴ族GaN基材料和器件的外延层选择生长在蓝宝石衬底上，主要是蓝宝石衬底具有高稳定性，其生产技术成熟以及机械强度高，易于处理和清洗等优点，该行业已进入大尺寸量产及高精度制造的品质要求，故蓝宝石衬底应用到自动化检验设备是必然发展的趋势。自动化检测技术满足了蓝宝石衬底的广泛检测项目和要求，为衬底制造业的品质和效率作保障。本文介绍蓝宝石衬底应用自动化检测技术，探讨检测技术与自动化装置在制造业上的作用意义，以及自动化检测分类应用。

Abstract： The epitaxial layers of III-Ⅴ group GaN-based materials and devices are grown on sapphire substrates， mainly because sapphire substrates have high stability， mature production technology and high mechanical strength， and are easy to handle and clean. The industry has entered the quality requirements of large-scale mass production and high-precision manufacturing， so the application of sapphire substrates to automated inspection equipment is an inevitable development trend. The automated inspection technology meets the extensive inspection items and requirements of sapphire substrates， and guarantees the quality and efficiency of the substrate manufacturing industry. This article introduces the application of automatic detection technology for sapphire substrates， discusses the significance of detection technology and automated devices in the manufacturing industry and the application of automatic detection classification.

關键词：蓝宝石衬底;检测技术;自动化

Key words： sapphire substrate;detection technology;automation

中图分类号：TN247                                      文献标识码：A                                  文章编号：1006-4311（2020）22-0203-02

0  引言

自动化检测技术的研究与应用，不仅具有重要的理论基础，符合当前及未来我国科技发展的战略，而且紧密关联着国民经济的实际情况，对促进企业技术进步、传统工业技术改造有着重要的意义[1]。蓝宝石衬底生产车间利用检测仪器或综合测试方法检测，以确定衬底质量和技术要求的目标值是否达到制程规定的标准而进行测量作业。检测是制造过程中必不可少的辅助手段，对目标对象按照流程进行的活动，通过检测作业能对衬底的制程实施控制进行一系列调整和补偿动作，使报废品与返工率降到最低，保证衬底质量形成过程的稳定性。综上所述，先进自动化制造系统中，检测是衬底质量保证体系的测量技术支撑，自动化检测技术更是效率与品质同步提升的保障。……