《微机电系统与微细制造》精品课程建设思考

房晓龙 李寒松

【摘要】为主动服务战略新兴产业转型升级、电子产业自主可控迫切需求，结合新工科高等工程教育新理念、微机电系统与微细制造技术发展趋势、后疫情时代混合教学需求，思考通过丰富教学内涵、改革教学模式、强化实践操作、改进评价机制、虚拟仿真实验等，培养学生的综合工程素养和创新实践能力。

【关键词】新工科  微机电系统  微细制造  混合教学  实践  评价机制

【基金项目】南京航空航天大学研究生国际化精品课程建设项目（2019YGJKC04）。

【中图分类号】G64 【文献标识码】A 【文章编号】2095-3089（2021）04-0148-03

微机电系统与微细制造是一门涉及微电子学、信息学、材料、能源、制造、测试以及纳米技术等多个学科的交叉学科，其技术体系纷繁复杂，且新技术方法层出不穷。以微细特种加工技术为代表的制造方法，在光、电、信息、芯片制造中正逐步承担更多的加工任务，产业自主可控、需求升级和新技术发展对机械工程专业学生培养提出了新的要求。“新工科”高等工程教育要求一线教师主动求变，接受新理念、采用新方法、体现新时代特征，培养国际化复合型工科人才。

一、国内外现状

以作者在美国伊利诺伊大学香槟分校机械系（该校机械工程本科专业2019年US News排名第6）访学调研情况为例：该校机械系本科生毕业需完成通识教育、基础课、专业课、课程设计等四类128个学分学习。其中，需要选修两门高阶专业课程。微机电系统与微细制造是4学分的高阶选修课，教学内容主要是包括光刻、硅加工、增减材工艺、刻蚀、封装等。……