半导体设备AMAT P5000死机故障分析及处理

郭晶磊，顾 吉

（中国电子科技集团公司第58研究所，江苏 无锡 214035）

1 引言

P5000设备由全球著名半导体设备厂商美国应用材料公司（Applied Materials）生产，P5000系统是世界上第一台成功的以单晶片、多反应室理念而设计的量产与研发均适用的半导体制程设备。P5000系统具有绝佳的制程整合、量产制造等优点，并在不破真空的状况下，最多有四个相同或不相同的制程反应室同时进行生产，更富有弹性和整合能力。反应原理为：材料源以气体形式进入工艺腔体内，在RF加功率的情况下，材料源（反应气体）从辉光放电（Plasma：等离子场）中获得激活能，激活并增强化学反应，从而实现化学气象淀积。在实际使用过程中，P5000平台经常会出现各种各样的死机现象，本文就针对具体的各种死机现象进行分析，并提供相关的解决方案。

2 死机代码查询方法

P5000系统软件能够自动保存最后一次死机信息，具体查看方法为：

（1）在主界面用光笔点击Service菜单，如图1;

（2）在Service下拉菜单中选择Diagnostics菜单，如图2;

（3）在Diagnostics下拉菜单中选择Last Exception Report菜单，如图3。

图1 死机代码查询界面1

图2 死机代码查询界面2

图3 死机代码查询界面3

图4 死机代码查询界面4

该死机信息同时被保存在FAULT.LOG文件中，从死机信息报告界面中我们可以得到相关信息，见图4和表1。

在表1所述信息中，最重要的是第4条（Exception number），根据该代码可以对死机原因进行分析排查，最终解决死机问题。

表1 死机信息报告内容

3 死机代码分析

3.1 Exception 2

例如Exception number 2，Bus error-FFFF4818，此类死机原因一般是因为硬件问题引起（典型的是DIO或AIO板故障），但偶尔也会是软件、VME电压和VME接地问题引起。……