半导体工艺检测实验教学改革与研究

段小玲 许晟瑞

摘  要：微电子专业具有综合性和实践性强的特点，加强实验教学改革对培养学生专业实践能力和创新能力具有重要意义。针对微电子专业基础实验课——《半导体工艺检测》实验教学中存在的主要问题，深入分析问题根源，积极探索解决方案。以关注实验教学效果，提高实验教学质量，培养高素质微电子人才为目标，探讨教学内容、教学模式、实验配套设施与师资队伍建设的创新性改革方案，形成以学生为本、产教融合、特色鲜明的教学方法与人才培养体系。

关键词：微电子;实验教学;人才培养;教学改革

中图分类号： G642       文献标志码：A         文章编号：2096-000X（2020）13-0114-05

Abstract： Microelectronics has the characteristics of strong comprehensiveness and practicality. It is of great significance to strengthen the reform of experimental teaching to cultivate students' professional practice ability and innovation ability. In view of the main problems existing in the experimental teaching of semiconductor process test， the basic experimental course of microelectronics specialty， the root causes of the problems are analyzed and the solutions are actively explored. Aiming at focusing on the effect of experimental teaching， improving the quality of experimental teaching and cultivating high-quality microelectronic talents， this paper discusses the innovative reform plan of teaching content， teaching model， experimental supporting facilities and construction of teacher team， and forms a student-oriented， production-teaching integration and distinctive teaching method and talent cultivation system.

Keywords： Microelectronics; experimental teaching; talent cultivation; teaching reform

引言

隨着全球科技的发展，半导体与集成电路已经成为影响国家经济及国防安全的关键，其发展壮大对提高我国国际竞争力和社会民生具有重要战略意义[1]。当前中国集成电路产业正面临艰巨挑战，特别是在少数国家频频动用国家力量无端打压中国科技企业的背景下，针对国际、国内行业形势和国家战略需求，加强微电子领域学生创新能力培养，为我国微电子领域输出更多创新型人才至关重要。为此，国家陆续出台政策，对集成电路进行重点扶持，并不断健全集成电路人才培养体系，支持微电子学科发展[1，2]。

实验教学是微电子本科教学中的重要组成部分，是培养学生专业实践能力和创新能力的重要环节[3，4]，在创新型人才培养中占有非常重要的地位。目前，国内高校普遍存在重科研轻教学，重理论轻实验的情况。……